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分子泵過(guò)流保護(hù)分為加速中過(guò)流保護(hù)與恒速運(yùn)行中過(guò)流保護(hù)兩種情況，應(yīng)分別診斷：
（1）加速中過(guò)流保護(hù)

可能情況：系統(tǒng)漏氣、真空度較差

檢測(cè)方法及建議:
1）觀察分子泵前級(jí)真空度是否優(yōu)于10Pa；

2）用檢漏儀對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行整機(jī)檢漏，確保系統(tǒng)無(wú)漏；

3）確保系統(tǒng)漏率在允許范圍內(nèi)且前級(jí)優(yōu)于10Pa后重啟分子泵。

（2）恒速運(yùn)行中過(guò)流保護(hù)

可能情況：分子泵運(yùn)行中負(fù)載突變

檢測(cè)方式及建議：
1）觀察系統(tǒng)真空度變化過(guò)程；

2）若出現(xiàn)較明顯變化（如10-4Pa降至10-1Pa），則會(huì)出現(xiàn)過(guò)流保護(hù)情況.

華爾升氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵進(jìn)氣口一端，漏

入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有

不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比）即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。

逆擴(kuò)散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強(qiáng)較高，華爾升智控型氦質(zhì)譜檢漏儀HESZKAT800可達(dá)1000Pa（一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下），適合

檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴(kuò)散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染，燈絲壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。