隨著壓力容器出口產(chǎn)品的增加和制造商對產(chǎn)品質(zhì)量的重視，我國壓力容器制造業(yè)氦質(zhì)譜泄漏檢測方法的應(yīng)用也在逐年增加，氦質(zhì)譜泄漏檢測法（以下簡稱氦檢測）通常用于整體防漏等級高的壓力容器，具有高靈敏度和準(zhǔn)確性。
氦檢測方法基本可分為氦內(nèi)部壓力法和設(shè)備內(nèi)部真空外部氦兩種，由于后者需要將設(shè)備完全抽入真空狀態(tài)，往往會增加試驗設(shè)備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設(shè)備工具（如外部壓力加強圈），因此該方法通常用于體積小、壁厚的設(shè)備；對于大多數(shù)壓力容器，前一種方法通常優(yōu)先。
試驗原理質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦做探索氣體而制成的儀器。
試驗時當(dāng)其從漏孔中泄出后，隨同其它氣體一起被吸入質(zhì)譜檢漏儀中，質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)的燈絲發(fā)射出的電子把分子電離，正離子在加速場的作用下做加速運動，形成離子束，當(dāng)離子束射入與它垂直的磁場后做圓周運動，軌道半徑由下式?jīng)Q定：H為磁感應(yīng)強度（T）M/Z為離子質(zhì)量與其電荷數(shù)之比U為加速電壓（V）由上式可知，當(dāng)R、H為定值時，改變加速電壓可以使不同質(zhì)量的離子通過接收縫接收檢測。在儀器分析器的某一特定位置上設(shè)置收集極，就可以把氦離子從產(chǎn)生的離子殘余物中隔離出來并轉(zhuǎn)換為儀表顯示的比率一一從質(zhì)譜檢漏儀吸入的氦部分的壓力函數(shù)。而作為探索氣，氦氣在空氣及真空系統(tǒng)中的含量甚微，在空氣中僅占二十萬分之一，這樣儀器本底噪聲小，同時氦的質(zhì)量小，僅大于氫，易于通過漏孔，具有較高的擴散速度，即使是微小的漏量，也很容易反應(yīng)出來。氦氣為惰性氣體，不會與被檢設(shè)備的各種材料發(fā)生反應(yīng)，不易被吸附且使用安全。
氦檢應(yīng)在設(shè)備施工和其它檢驗均已完成后進(jìn)行。試驗前設(shè)備表面及內(nèi)部須清潔、干燥，否則將會影響試驗結(jié)果以至造成錯誤的判斷。
本文就內(nèi)部加壓氦檢方法的工藝過程做如下簡述：試驗所需物品及設(shè)備氦質(zhì)譜檢漏儀、吸槍、氦氣瓶、熱風(fēng)裝置、壓力表、塑料薄膜及膠帶。設(shè)備的表面處理及干燥由于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、焊渣以及設(shè)備內(nèi)部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結(jié)果，因此，試驗前必須徹底清理設(shè)備內(nèi)部及焊縫表面并用熱風(fēng)裝置將設(shè)備內(nèi)部徹底干燥。
吸槍與質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接后，將吸槍移至正壓校準(zhǔn)漏孔出口側(cè)，校驗儀器的讀數(shù)。質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)在校驗后使用并在試驗期間每1~2小時校驗一次。質(zhì)譜檢漏儀的檢漏率應(yīng)高于設(shè)備所允許漏率12個數(shù)量級。
首先將設(shè)備穩(wěn)固的置于明亮、透風(fēng)良好的場所，連接好試驗用管路及壓力表，壓力表至少采用兩個量程相同且經(jīng)校驗的壓力表，并應(yīng)將其安裝在試驗容器的頂部便于觀察的位置。先用氮氣或其它惰性氣體將設(shè)備壓力提高，然后用純氦氣或氦氣混合氣把試驗設(shè)備的內(nèi)壓增加至試驗壓力且應(yīng)使設(shè)備內(nèi)部至少含有1%~20%的氦氣含量。試驗壓力應(yīng)不高于設(shè)備設(shè)計壓力的25%，但不低于0.103MPa.設(shè)備保壓30分鐘后，用掃描率不大于25mm/秒或更慢的速度在距離焊縫表面不大于3mm的范圍內(nèi)用吸槍吮吸，并應(yīng)從焊縫底部至上而行。
1-氦質(zhì)譜儀；2-吸槍；3-被檢件；4-氦氣源；5-正壓校準(zhǔn)漏孔如管板等焊縫較多或檢測面積較大時，可將該部分用塑料薄膜完全罩住并用膠帶封住，以使泄漏的氦氣進(jìn)入罩中。
在塑料罩的不同處做出小孔，在充入一定的氦氣前、后各記錄最初的讀數(shù)，然后封住小孔，12小時后在相同的位置上記錄新的讀數(shù)。如發(fā)現(xiàn)泄漏，則應(yīng)按前述的方法逐條焊縫進(jìn)行排查直至找到泄漏點。
觀察到的泄漏量應(yīng)修正為所用氦的百分比，公式為：P混合氣的總壓力MPa可視為合格。
以下幾點在檢漏過程中應(yīng)加以注意：
1、設(shè)備應(yīng)在所有施工工作完成后進(jìn)行本試驗，試驗完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。
2、若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細(xì)管的泄漏而影響試驗結(jié)果的真實性。
3、因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上，由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。
4、檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)入質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸槍，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤試驗。
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